早期的冷卻水系統(tǒng)主要用軟化水，如蒸餾水、池內(nèi)加散熱器，接上水泵、壓力表管道，即滿足高頻爐的要求。高頻爐的冷卻水排水口是外露的，便于觀察及檢查溫度，水箱與管道常采用鐵金屬材料。維護(hù)措施是定期清理水箱雜質(zhì)，或在水槽設(shè)計上分成兩格：一格為沉淀池，接回水管；另一鉻為潔凈池，接水泵吸水口。兩個格子在上部是相通的，沉淀池的水從上部流到潔凈池。

    這種冷卻水系統(tǒng)從20世紀(jì)70年代開始已進(jìn)行了較大的改變。首先是由于可見的排出水內(nèi)含有空氣，影響冷卻效果；其次是使用鋼材制水槽與鍍鋅鋼管等管件，易導(dǎo)致水中氧化鐵的存在。在進(jìn)水管過濾器堵塞等故障發(fā)生前如何監(jiān)控，這需要有相應(yīng)的監(jiān)控儀表；而如何節(jié)省換熱器中的工業(yè)用水，亦是完善該系統(tǒng)必須考慮的問題之一。

    早期的高頻爐，對冷卻水的水質(zhì)規(guī)定為水中含鹽量小于0.17g/L，電阻＞4000Ω/㎝³，這是為了振蕩管陽極上直流電壓達(dá)到13.SkV而提出的。水中鹽含量高，水的電阻值小，會導(dǎo)致陽極上高壓通過水流漏電而接地。水中鹽含量高的另一弊病是會在振蕩管陽極產(chǎn)生水垢，影響陽極的散熱，對出水溫度高的感應(yīng)器亦有同樣損害。

    曾經(jīng)在用硬水冷卻的高頻爐的管路閥門等通道檢修中，發(fā)現(xiàn)因嚴(yán)重結(jié)水垢而使通水截面減少，從而導(dǎo)致冷卻水量大大減少的現(xiàn)象。這些設(shè)備原來只有水壓保護(hù)，而水壓保護(hù)對流量減少不起保護(hù)作用。因此，流量保護(hù)成為現(xiàn)代高頻爐的報警元件之一。